Caracterización óptica y estructural de monocapas de silicio poroso por medio de reflectancia en la región visible y rayos X

Resumen

Una monocapa de silicio poroso con porosidad variable a lo largo del espesor fue caracterizando usando diferentes técnicas ópticas. Los resultados muestran que las técnicas basadas en reflectancia en la región visible divergen en aproximadamente 20% de aquellas encontradas por medio de los métodos basados en rayos X. Esa divergencia es una consecuencia de la variación del índice de refracción con la longitud de onda, tanto de la estructura porosa como del líquido empleado para el análisis. Los resultados sugieren que la estructura porosa puede ser modelada como un conjunto de poros esféricos con radio que varía entre 3.0 nm a 4.4 nm, en adición a los poros con forma cilíndrica con radio entre 22 nm y 42 nm, mientras su altura lo hace entre 55 y102 nm. La porosidad de la estructura varia a lo largo del espesor entre 65-81 %.